近十年来，集成电路产业在我国得到了迅速的发展，随着产业规模的持续大人，随之而产生的各种污染也不断引起企业、国家等方面的高度重视。集成电路产生的污染物主要有生产废水、工艺废气、生活污水、动力设备噪声和固体废物等。这些污染物必须进行有效治理，才能提供安全的工作环境及保护用边的环境生态。重庆锐致环保科技有限公司重庆废气处理公司将重点介绍工业废气的分类。

　　集成电路的工艺废气分类

　　集成电路的工艺废气主要分为6大类：

　　(l) 酸性废气：来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片进行腐蚀、清洗的过程以及散等工艺，主要污染物为氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾等。

　　(2) 碱性废气：来源于使用氨水、氨气的刻蚀工序，主要污染物为NH3。

　　(3) 有机废气：来源于清洗、匀胶、去胶、刻蚀、显影工序使用有机溶液清洗的过程，主要成份为异丙醇、光刻胶等有机物。

　　(4) 含尘废气：来源于CVD 工艺排气，主要污染物为粉尘( Sio2)。

　　(5)工艺尾气：来源于散、离子注入和CVD等工序使用的特殊气体，如硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B2H6)等，除部分在工艺中反应消耗外，其余均以尾气的形式排放。

　　(6) 热无处理废气：来源于散等工序中的热 气排放，直接排入人气。